測頭校驗
測頭校驗從左往右依次校驗,XY比例校驗和CCD自轉校驗只第一倍率校驗即可。
XY比例校驗
1.選擇最大倍率測頭,找到最清晰的對焦平面
2.切換到1倍率
3.選擇坐標系&測頭操作面板
4.選擇CCD校驗選項
5.選擇XY比例校驗面板
6.選擇校正玻璃片上的一組矩陣,按圖示順序分別測量(注:測量等距4個圓,中間機器不要移動)
測量時,對應的圓會變成測量狀態
7.點擊校驗,完成XY比例校驗
4.2 CCD自轉校驗
1.選擇CCD自轉校驗面板
2.選擇0.6mm的圓(也可以選擇其他直徑的圓,需要更改“規直徑”),選擇圓測量工具測量
3.這時校驗面板第一個圓變亮
4.然后選擇“自動校驗”,軟件自動完成鏡頭旋轉校驗
4.3 CCD像素比校驗
1.選擇CCD校驗面板
2.同樣選擇0.6mm的圓(也可以選擇其他直徑的圓,需要更改“規直徑”),選擇測圓工具測量圓